Indústria
Equipamentos para Semicondutores
Componentes de grau de vácuo e de manuseio de wafers usinados com disciplina de limpeza.
O que trava este setor
Equipamento de semicondutores é a usinagem no seu modo mais implacável: numa superfície de vedação de vácuo, um único risco é um vazamento virtual, e as notas do desenho — limpeza, ausência de marcas de ferramenta cruzando a vedação, acabamento sem óleo — são mais difíceis que as cotas. End effectors de manuseio de wafers vivem de planicidade de 0,02–0,05 mm, em que uma peça empenada se mede diretamente em rendimento. O controle de contaminação se estende ao próprio manuseio de materiais, incluindo zonas de exclusão de Cu/Zn que a maioria das oficinas nunca administrou. As frotas operam por uma década ou mais, então o fornecedor precisa reproduzir peças do build alfa como sobressalentes anos depois, a partir de revisões controladas.
Peças típicas que usinamos
- Corpos, tampas e flanges de câmaras de vácuo
- End effectors de manuseio de wafers e garras de borda
- Hardware de estágios, pórticos e plataformas de movimento
- Manifolds de distribuição de gases e blocos de substrato
- Componentes de contato com wafer em PEEK/PTFE
Materiais recomendados
Chapa de Alumínio Fundido MIC-6
A especialista em planicidade: chapa fundida com alívio de tensões que não empena durante a usinagem.
Aço Inoxidável 316L
O inox naval e médico: química com molibdênio que resiste a cloretos e ciclos de esterilização.
Alumínio 6061-T6
O alumínio CNC padrão: resistente para a maioria das aplicações, usina rápido e anodiza bem.
PEEK
O polímero que substitui o metal: serviço a 250 °C, imunidade química e opções de grau implantável.
PTFE (Teflon)
O sólido mais deslizante que existe: vedações e isoladores imunes a químicos e ao calor.
Acabamentos recomendados
Eletropolimento
Deposição reversa que dá brilho, rebarba e passiva o inox em uma única etapa.
Passivação
Higiene química para o inox: remove o ferro incrustado para que o aço seja tão inoxidável quanto promete.
Anodização Tipo II (Incolor)
O acabamento padrão do alumínio: óxido duro e incolor que preserva o aspecto metálico.
Certificações e normas
- ISO 9001
- Entendemos que as auditorias de fornecedores de OEMs de semicondutores começam na disciplina de processo ISO 9001 e avançam para procedimentos de limpeza e manuseio.
- EN 10204 3.1
- Apoiamos a rastreabilidade de material com certificados de usina EN 10204 3.1 para componentes de vácuo e de linha de gases em que a química da liga é crítica.
- RoHS / REACH
- Apoiamos declarações RoHS/REACH para módulos de equipamentos enviados a mercados regulados.
Entendemos e atendemos a estes requisitos; o escopo de certificação e documentação é confirmado por pedido.
Serviços relevantes
Fresamento CNC
Usinagem vertical de 3 e 4 eixos para carcaças, suportes, manifolds e peças estruturais.
Usinagem 5 Eixos
Usinagem 5 eixos simultâneos para rotores, superfícies de forma livre e geometrias em ângulos compostos.
Microusinagem
Fusos de alta rotação e ferramentas de Ø0,1 mm para geometrias abaixo de 1 mm e peças em escala relojoeira.
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